什么是电子显微镜的EDX系统

EDX系统(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)是安装在电子显微镜上的一个附加分析系统,全称为“能量色散X射线谱系统”。它的主要功能是对样品进行元素成分分析。

其工作原理是:

1. 使用电子显微镜的电子束轰击待检样品,使样品原子激发,发出特征X射线。
2. EDX系统的探测器收集并测量这些X射线的能量。
3. 根据所测得的X射线能谱,可以确定样品中所包含的元素类型及含量。
4. 系统软件可以对数据进行处理,生成元素映射、线扫描等结果,用于分析样品的元素分布状态。
5. EDX可以检测从硼到铀等所有元素,检测下限reaching低至100ppm。

EDX是电子显微镜必备的元素分析功能,它可以对样品材料进行定性和定量分析,用于研究材料组成及结构,在半导体、地质、生物、冶金等领域都有重要应用。与电子显微镜结合,可以直接获得样品微区域的元素组成,是一种重要的微区元素分析技术。