FEI 800 是 FEI 公司生产的一款双束聚焦离子束/扫描电子显微镜 (FIB/SEM) 设备。该设备结合了 FIB 和 SEM 的优势，能够在纳米尺度上对材料进行表征和加工。

主要参数

• 离子束
  • 离子源：镓离子源
  • 能量：20 keV 到 30 keV
  • 束流：0.1 pA 到 20 nA
  • 分辨率：2 nm
• 电子束
  • 电子枪：钨灯丝发射枪
  • 能量：0.5 keV 到 30 keV
  • 束流：1 pA 到 20 nA
  • 分辨率：1 nm

用途

• 材料表征
  • 表面形貌分析
  • 元素分析
  • 晶体结构分析
• 材料加工
  • 纳米加工
  • 3D 打印
  • 修复

应用领域

• 微电子器件制造
• 精密机械加工
• 材料科学研究
• 生命科学研究

具体应用示例

• 利用 FEI 800 对微电子器件进行失效分析。
• 利用 FEI 800 制备纳米器件。
• 利用 FEI 800 研究材料的表面形貌和结构。
• 利用 FEI 800 研究生物大分子的结构和功能。

FEI 800 是一款功能强大的仪器，在科学研究和工业生产中有着广泛的应用。