FEI XL 30 是一款高分辨率的扫描电子显微镜 (SEM)，能够在纳米尺度上对材料进行表征。该设备具有以下特点：

• 高分辨率：FEI XL 30 的二次电子分辨率可达 0.8 nm，背散射电子分辨率可达 1.2 nm。
• 宽放大倍率范围：FEI XL 30 的放大倍率范围为 30 倍到 1,000,000 倍。
• 多种成像模式：FEI XL 30 支持二次电子、背散射电子、阴极发光等多种成像模式。
• EDS 和 EBSD 分析：FEI XL 30 可配备能量色散 X 射线 (EDS) 和电子背散射衍射 (EBSD) 探测器，用于进行元素分析和晶体结构分析。

主要参数

• 电子枪：钨灯丝发射枪
• 能量：0.5 keV 到 30 keV
• 束流：1 pA 到 20 nA
• 分辨率：
  • 二次电子：0.8 nm
  • 背散射电子：1.2 nm
• 放大倍率：30 倍到 1,000,000 倍

用途

• 材料表征
  • 表面形貌分析
  • 元素分析
  • 晶体结构分析

应用领域

• 微电子器件制造
• 精密机械加工
• 材料科学研究
• 生命科学研究

具体应用示例

• 利用 FEI XL 30 观察微电子器件的表面形貌和缺陷。
• 利用 FEI XL 30 分析材料的元素组成。
• 利用 FEI XL 30 研究材料的晶体结构。